Простий пошук
|
Розширений пошук
|
Алфавітні покажчики
|
Бази даних
Автореферати дисертацій - результати пошуку
Віртуальна довідкаТематичний інтернет-навігаторНаукова електронна бібліотекаАвтореферати дисертаційРеферативна база данихКнижкові видання та компакт-дискиЖурнали та продовжувані видання
 |
Для швидкої роботи та реалізації всіх функціональних можливостей пошукової системи використовуйте браузер "Mozilla Firefox" |
|
|
| Формат представлення знайдених документів: | ||
| повний | стислий | |
Пошуковий запит: (<.>A=Оксанич А.П.$<.>) | ||||
|
Загальна кількість знайдених документів : 1 |
||||
Категорія: Фізико-математичні науки | ||||
| 1. | Оксанич А.П. Методи та апаратура контролю структурно-геометричної досконалості напівпровідникових матеріалів та структур в умовах їх серійного виробництва: Автореф. дис... д-ра техн. наук: 05.27.06 / А.П. Оксанич ; Харк. нац. ун-т радіоелектрон. — Х., 2002. — 34 с. — укp. Розроблено науково-обгрунтовані методи для контролю деформацій, механічних напруг структурної досконалості і створення на їх підставі принципів конструювання вимірювального і ростового обладнання, за допомогою якого безруйнівним методом експресно контролюються на всіх стадіях напівпровідникового виробництва геометричні параметри і внутрішня напруга напівпровідникових пластин і структур, а також створено апаратуру для контролю структурної досконалості напівпровідникових кристалів у процесі вирощування. Запропоновано методики і конструкції плоских інфрачервоних полярископів "Міраж-1" та "Міраж-2". Досліджено технологічні процеси високотемпературної обробки. Висвітлено методику контролю щільності дислокацій під час дослідження жорсткості кремнієвих структур виявлено нове явище: зміну форми (згибу) кремнієвих структур після прикладення імпульса навантаження з високою швидкістю. Індекс рубрикатора НБУВ: В379.22,022 + З843.312-06 Шифр НБУВ: РА319978 Пошук видання у каталогах НБУВ Рубрики: | |||
Всі права захищені © Національна бібліотека України імені В. І. Вернадського